文献
J-GLOBAL ID:200902160422034608
整理番号:01A0649278
ステップ・フラッシュ・インプリント・リソグラフィーに対する定位台の設計
Design of orientation stages for step and flash imprint lithography.
著者 (5件):
CHOI B J
(Univ. Texas at Austin, TX, USA)
,
SREENIVASAN S V
(Univ. Texas at Austin, TX, USA)
,
JOHNSON S
(Univ. Texas at Austin, TX, USA)
,
COLBURN M
(Univ. Texas at Austin, TX, USA)
,
WILSON C G
(Univ. Texas at Austin, TX, USA)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
25
号:
3
ページ:
192-199
発行年:
2001年07月
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)