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著者 (4件)：
資料名：
巻： A85 号： 1/3 ページ： 340-345 発行年： 2000年08月25日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902161108587631
整理番号：00A0918089
飽和TMAHW溶液でエッチングされるシリコン微小構造体の表面品質に及ぼす界面活性剤の影響
Effect of surfactant on surface quality of silicon microstructures etched in saturated TMAHW solutions.
SARRO P M
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
BRIDA D
(IRST, Trento, ITA)
,
VLIST W
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
BRIDA S
(IRST, Trento, ITA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A85 号： 1/3 ページ： 340-345 発行年： 2000年08月25日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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