文献
J-GLOBAL ID:200902161449655090
整理番号:97A0114238
ダイヤモンドCVDの圧力限界について
On the pressure limits of diamond chemical vapor deposition.
著者 (2件):
WOLDEN C A
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
,
GLEASON K K
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
5
号:
12
ページ:
1503-1508
発行年:
1996年12月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)