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著者 (2件)：
資料名：
巻： 10 号： 9/10 ページ： 1868-1874 発行年： 2001年09月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902161714174369
整理番号：01A0913633
BNの蒸着へのふっ素の導入 残留応力の低い高品質なcBN厚膜を得るための有効な方法
The introducing of fluorine into the deposition of BN: a successful method to obtain high-quality, thick cBN films with low residual stress.
MATSUMOTO S
(National Inst. Materials Sci., Tsukuba-city, JPN)
,
ZHANG W J
(National Inst. Materials Sci., Tsukuba-city, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 10 号： 9/10 ページ： 1868-1874 発行年： 2001年09月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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