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著者 (4件)：
資料名：
巻： 13 号： 3 Pt 1 ページ： 1095-1099 発行年： 1995年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902162005302031
整理番号：95A0658438
高周波マグネトロンスパッタリングにより作製した透明すず酸亜鉛導電性膜の性質
Properties of transparent zinc-stannate conducting films prepared by radio frequency magnetron sputtering.
MINAMI T
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
TAKATA S
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
SATO H
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
SONOHARA H
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 13 号： 3 Pt 1 ページ： 1095-1099 発行年： 1995年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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