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文献
J-GLOBAL ID:200902162673678159   整理番号:97A0245110

Pb(Zr,Ti)O3膜用のPt/Tiボトム電極

Investigation of Pt/Ti Bottom Electrodes for Pb(Zr,Ti)O3 Films.
著者 (4件):
KIM S-T
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
KIM H-H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
LEE M-Y
(Samsung Electronics Co., Ltd., Kyungki-do, KOR)
LEE W-J
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 36  号: 1A  ページ: 294-300  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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