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著者 (4件)：
資料名：
巻： A80 号： 2 ページ： 179-188 発行年： 2000年03月10日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902163038218482
整理番号：00A0437574
KOHとTMAH溶液の異方性エッチング特性の比較
Differences in anisotropic etching properties of KOH and TMAH solutions.
SHIKIDA M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SATO K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TOKORO K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
UCHIKAWA D
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A80 号： 2 ページ： 179-188 発行年： 2000年03月10日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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