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著者 (4件)：
資料名：
巻： 3008 ページ： 82-90 発行年： 1997年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902163208508677
整理番号：97A0614660
光学走査のための微細加工マイクロスキャナー
Micromachined microscanners for optical scanning.
KIANG M-H
(Univ. California at Berkeley)
,
SOLGAARD O
(Univ. California at Davis)
,
MULLER R S
(Univ. California at Berkeley)
,
LAU K Y
(Univ. California at Berkeley)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3008 ページ： 82-90 発行年： 1997年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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