文献
J-GLOBAL ID:200902163387001253
整理番号:02A0616898
ブロック共重合体を用いるパターン形成媒質のためのナノパターン形成
Nano-Patterning for Patterned Media using Block-Copolymer.
著者 (6件):
ASAKAWA K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
HIRAOKA T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
HIEDA H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SAKURAI M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KAMATA Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
NAITO K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
15
号:
3
ページ:
465-470
発行年:
2002年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)