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資料名：
巻： 64 号： 15 ページ： 1932-1934 発行年： 1994年04月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902163625327596
整理番号：94A0419418
原子間力顕微鏡を用いたSiナノ構造の作製
Fabrication of Si nanostructures with an atomic force microscope.
SNOW E S
(Naval Research Lab., Washington, D.C.)
,
CAMPBELL P M
(Naval Research Lab., Washington, D.C.)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 64 号： 15 ページ： 1932-1934 発行年： 1994年04月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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