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著者 (4件)：
資料名：
巻： 241/243 ページ： 1138-1141 発行年： 1997年02月
JST資料番号： D0148A ISSN： 0022-3115 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902164656858898
整理番号：97A0701421
ほう素薄膜の内部応力に照射イオン種が及ぼす効果
Effect of irradiation ion species on internal stress in boron thin films.
SATOMI N
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TANAKA K
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KITAMURA M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
NISHIKAWA M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Journal of Nuclear Materials
(Journal of Nuclear Materials)
巻： 241/243 ページ： 1138-1141 発行年： 1997年02月
JST資料番号： D0148A ISSN： 0022-3115 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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