文献
J-GLOBAL ID:200902165152005807
整理番号:94A0463987
Czochralski過程の動力学と制御 IV 界面形状制御と性能評価のための制御構造設計
Dynamics and control of the Czocharalski process IV. Control structure design for interface shape control and performance evaluation.
著者 (1件):
GEVELBER M A
(Boston Univ., Massachusetts, USA)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
139
号:
3/4
ページ:
286-301
発行年:
1994年05月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)