文献
J-GLOBAL ID:200902165206058979
整理番号:96A0842416
不均一な二次電子放出係数をもつ表面と接したRFプラズマの軸対称モデル
An Axisymmetric Model for an RF Plasma in Contact with a Surface Having a Nonuniform Secondary Electron Emission Coefficient.
著者 (2件):
XU W
(Multi-Arc, Inc., NJ, USA)
,
SIDES P J
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
24
号:
3
ページ:
1072-1078
発行年:
1996年06月
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)