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著者 (5件)：
資料名：
巻： 54 号： 1/3 ページ： 700-703 発行年： 1996年06月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902165395148428
整理番号：97A0014670
急速焼なまし時のほう素ドープLPCVD多結晶シリコンの電気的及び圧電抵抗特性の評価
Electrical and piezoresistive characterization of boron-doped LPCVD polycrystalline silicon under rapid thermal annealing.
LE BERRE M
(INSA, Villeurbanne, FRA)
,
KLEIMANN P
(INSA, Villeurbanne, FRA)
,
SEMMACHE B
(INSA, Villeurbanne, FRA)
,
BARBIER D
(INSA, Villeurbanne, FRA)
,
PINARD P
(INSA, Villeurbanne, FRA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 54 号： 1/3 ページ： 700-703 発行年： 1996年06月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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