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著者 (4件)：
資料名：
巻： 37 号： 9B ページ： 5342-5344 発行年： 1998年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902165895614549
整理番号：98A0950543
ガスジェット堆積法の薄膜圧電ミニチュアアクチュエータへの適用
Application of Gas Jet Deposition Method to Piezoelectric Thick Film Miniature Actuator.
SCHROTH A
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
MAEDA R
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
AKEDO J
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
,
ICHIKI M
(Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 9B ページ： 5342-5344 発行年： 1998年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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