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J-GLOBAL ID:200902165917879010   整理番号:95A0954258

ダスティーなAr/SiH4高周波放電における電子密度ゆらぎ

Electron density fluctuations in a dusty Ar/SiH4 rf discharge.
著者 (4件):
STOFFELS W W
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
STOFFELS E
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
KROESEN G M W
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
DE HOOG F J
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)

資料名:
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

巻: 78  号:ページ: 4867-4872  発行年: 1995年10月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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