文献
J-GLOBAL ID:200902166627769358
整理番号:02A0686138
直流マグネトロンスパッタリングにより蒸着したガリウムドープ酸化亜鉛膜の電気および光学特性
Electrical and optical properties of gallium-doped zinc oxide films deposited by dc magnetron sputtering.
著者 (5件):
SONG P K
(Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
WATANABE M
(Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
KON M
(Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
MITSUI A
(Asahi Glass Co. Ltd., Yokohama, JPN)
,
SHIGESATO Y
(Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
411
号:
1
ページ:
82-86
発行年:
2002年05月22日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)