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文献
J-GLOBAL ID:200902167735399075   整理番号:93A0682679

粗い表面に対する干渉法によるプロフィラ

Interferometric profiler for rough surfaces.
著者 (1件):
CABER P J
(WYKO Corp., Arizona)

資料名:
Applied Optics  (Applied Optics)

巻: 32  号: 19  ページ: 3438-3441  発行年: 1993年07月01日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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