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文献
J-GLOBAL ID:200902167868254754   整理番号:97A0745105

MOVPE法によるサブミクロンパターンへのGaN選択成長

Selective growth of GaN on sub-micron pattern by MOVPE.
著者 (4件):
松嶋秀忠
(名古屋大 工)
平松和政
(三重大 工)
花井寿佳
(名古屋大 工)
沢木宣彦
(名古屋大 工)

資料名:
電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻: 97  号: 59(ED97 26-40)  ページ: 41-46  発行年: 1997年05月23日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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