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資料名：
巻： 97 号： 59(ED97 26-40) ページ： 41-46 発行年： 1997年05月23日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902167868254754
整理番号：97A0745105
MOVPE法によるサブミクロンパターンへのGaN選択成長
Selective growth of GaN on sub-micron pattern by MOVPE.
松嶋秀忠
(名古屋大 工)
,
平松和政
(三重大 工)
,
花井寿佳
(名古屋大 工)
,
沢木宣彦
(名古屋大 工)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 97 号： 59(ED97 26-40) ページ： 41-46 発行年： 1997年05月23日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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