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著者 (9件)：
資料名：
巻： 36 号： 12B ページ： 7535-7540 発行年： 1997年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902167984536660
整理番号：98A0247947
Gビットのダイナミックランダムアクセスメモリの0.15μm電子ビームによる直接描画
0.15μm Electron Beam Direct Writing for Gbit Dynamic Random Access Memory Fabrication.
NAKAJIMA K
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMASHITA H
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
KOJIMA Y
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
HIRASAWA S
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
TAMURA T
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMADA Y
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
TOKUNAGA K
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
EMA T
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
NOZUE H
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 36 号： 12B ページ： 7535-7540 発行年： 1997年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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