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著者 (3件)：
資料名：
巻： 39 号： 2A ページ： L116-L118 発行年： 2000年02月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902168357479100
整理番号：00A0300154
電子サイクロトロン共鳴プラズマにおける基板の前のシース電場分布のレーザ誘起蛍光法による直接測定
Direct Measurement of Sheath Electric Field Distribution in Front of Substrate in Electron Cyclotron Resonance Plasma by Laser-Induced Fluorescence Technique.
WATANABE M
(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
TAKIYAMA K
(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
ODA T
(Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 39 号： 2A ページ： L116-L118 発行年： 2000年02月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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