文献
J-GLOBAL ID:200902168580788327
整理番号:00A0300375
非晶質酸化インジウム及び酸化インジウムすず薄膜のアニールによる結晶化と電気特性の変化
Crystallization and electrical property change on the annealing of amorphous indium-oxide and indium-tin-oxide thin films.
著者 (2件):
MORIKAWA H
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
FUJITA M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
359
号:
1
ページ:
61-67
発行年:
2000年01月24日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)