文献
J-GLOBAL ID:200902168935933293
整理番号:97A0286480
超精密研削用圧電アクチュエータを用いる超微細運動テーブル
An Ultrafine Motion Table Using Piezoelectric Actuator for Ultraprecision Grinding.
著者 (4件):
OTSUKA J
(Shizuoka Inst. Sci. and Technol., Shizuoka)
,
KOSHIMIZU S
(Shizuoka Inst. Sci. and Technol., Shizuoka)
,
HATA S
(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa)
,
SHIMOKOHBE A
(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa)
資料名:
International Journal of the Japan Society for Precision Engineering
(International Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻:
30
号:
4
ページ:
345-346
発行年:
1996年12月
JST資料番号:
Z0715A
ISSN:
0916-782X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)