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文献
J-GLOBAL ID:200902170545021492   整理番号:99A0610114

新しい不動態化構造を有する分子線エピタキシー(MBE)成長AlGaAs層の無砒素の高温表面洗浄

Arsenic-free high-temperature surface cleaning of molecular beam epitaxy(MBE)-grown AlGaAs layer with new passivation structure.
著者 (4件):
IIZUKA K
(Nippon Inst. Technol., Saitama, JPN)
WATANABE H
(Nippon Inst. Technol., Saitama, JPN)
SUZUKI T
(Nippon Inst. Technol., Saitama, JPN)
OKAMOTO H
(Chiba Univ., Chiba, JPN)

資料名:
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

巻: 201/202  ページ: 174-177  発行年: 1999年05月 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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