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文献
J-GLOBAL ID:200902170564341961   整理番号:03A0088397

ポリシリコンゲートの単一全シリサイド化(FUSI)による仕事関数金属デュアルゲートをもつトランジスタ

Transistors with Dual Work Function Metal Gates by Single Full Silicidation (FUSI) of Polysilicon Gates.
著者 (5件):
MASZARA W P
(AMD, CA, USA)
KRIVOKAPIC Z
(AMD, CA, USA)
KING P
(AMD, CA, USA)
GOO J-S
(AMD, CA, USA)
LIN M-R
(AMD, CA, USA)

資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)

巻: 2002  ページ: 367-370  発行年: 2002年 
JST資料番号: C0829B  ISSN: 0163-1918  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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