文献
J-GLOBAL ID:200902170680634534
整理番号:02A0178067
Al及びCu薄膜における組成変形及び界面スライディング 熱サイクリングによるSi基板システム
Plastic Deformation and Interfacial Sliding in Al and Cu Thin Film: Si Substrate Systems Due to Thermal Cycling.
著者 (4件):
DUTTA I
(Naval Postgraduate School, CA)
,
CHEN M W
(Naval Postgraduate School, CA)
,
PETERSON K
(Naval Postgraduate School, CA)
,
SHULTZ T
(Naval Postgraduate School, CA)
資料名:
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻:
30
号:
12
ページ:
1537-1548
発行年:
2001年12月
JST資料番号:
D0277B
ISSN:
0361-5235
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)