文献
J-GLOBAL ID:200902171297269454
整理番号:02A0221934
印刷はリソグラフィーに応ずる 高分解能印刷へのソフトな手法
Printing meets lithography: Soft approaches to high-resolution printing.
著者 (9件):
MICHEL B
(IBM Res., Rueschlikon, CHE)
,
BERNARD A
(LifeBits AG, Tuebingen, DEU)
,
BIETSCH A
(IBM Res., Rueschlikon, CHE)
,
DELAMARCHE E
(IBM Res., Rueschlikon, CHE)
,
GEISSLER M
(IBM Res., Rueschlikon, CHE)
,
KIND H
(Univ. California, California)
,
RENAULT J-P
(Commissariat a l’Energie Atomique, Gif Sur Yvette, FRA)
,
SCHMIDT-WINKEL P
(Merck AG, Damstadt, DEU)
,
WOLF H
(IBM Res., Rueschlikon, CHE)
資料名:
IBM Journal of Research and Development
(IBM Journal of Research and Development)
巻:
45
号:
5
ページ:
697-719
発行年:
2001年09月
JST資料番号:
D0061B
ISSN:
0018-8646
CODEN:
IBMJAE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)