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資料名：
巻： 66 号： 3/4 ページ： 523-529 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902172278757711
整理番号：02A0687201
RFマグネトロンスパッタリングにより成長させた三層膜構造の固体酸化物燃料電池素子の特性
Characterization of solid oxide fuel cell device having a three-layer film structure grown by RF magnetron sputtering.
NAGATA A
(Osaka Inst. Technol., Osaka, JPN)
,
OKAYAMA H
(Osaka Inst. Technol., Osaka, JPN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 66 号： 3/4 ページ： 523-529 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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