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著者 (5件)：
資料名：
巻： 48 号： 2/3 ページ： 141-145 発行年： 2002年04月
JST資料番号： D0448C ISSN： 1044-5803 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902172306814130
整理番号：02A0786194
走査型原子間力顕微鏡と走査型レーザ顕微鏡を用いたナノスケール切削されたシリコン単結晶における表面及びサブ表面亀裂の評価
Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope.
SUMOMOGI T
(Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
,
NAKAMURA M
(Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
,
ENDO T
(Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
,
GOTO T
(Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)
,
KAJI S
(Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)
資料名：
Materials Characterization
(Materials Characterization)
巻： 48 号： 2/3 ページ： 141-145 発行年： 2002年04月
JST資料番号： D0448C ISSN： 1044-5803 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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