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資料名：
巻： 73 号： 12 ページ： 8377-8380 発行年： 1993年06月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902172341177429
整理番号：93A0653718
窒素アルゴン混合ガス中でのrfスパッタによって作成したCo-N,Co-Fe-NとCo-Zr-N膜の性質
Properties of Co-N, Co-Fe-N, and Co-Zr-N films prepared by rf sputtering in nitrogen-argon gas mixtures.
SHIH K K
(IBM Research Division, New York)
,
KARASINSKI J
(IBM Research Division, New York)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 73 号： 12 ページ： 8377-8380 発行年： 1993年06月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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