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著者 (4件)：
資料名：
巻： 40 号： 10 ページ： 5850-5855 発行年： 2001年10月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902174602864863
整理番号：01A1057818
熱酸化したSi基板上に堆積させたPt/Ti膜積層における白金の小丘
Platinum Hillocks in Pt/Ti Film Stacks Deposited on Thermally Oxidized Si Substrate.
KWEON S Y
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
CHOI S K
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
YEOM S J
(HYUNDAI Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
,
ROH J S
(HYUNDAI Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40 号： 10 ページ： 5850-5855 発行年： 2001年10月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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