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著者 (3件)：
資料名：
巻： 145 号： 8 ページ： 2961-2964 発行年： 1998年08月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902175092259656
整理番号：98A0782749
Ru下地電極をもつTa2O5超薄膜コンデンサ
Ultrathin Ta2O5 Film Capacitor with Bottom Electrode.
AOYAMA T
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
YAMAZAKI S
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
IMAI K
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 145 号： 8 ページ： 2961-2964 発行年： 1998年08月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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