文献
J-GLOBAL ID:200902175729324902
整理番号:01A0700121
無転位シリコン中の置換型ニッケル原子の内方拡散とアニール過程
In-Diffusion and Annealing Processes of Substitutional Nickel Atoms in Dislocation-Free Silicon.
著者 (3件):
TANAKA S
(Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
IKARI T
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
,
KITAGAWA H
(Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
40
号:
5A
ページ:
3063-3068
発行年:
2001年05月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)