文献
J-GLOBAL ID:200902176477298047
整理番号:96A0503859
炭素イオン堆積した四面体非晶質炭素膜のイオンエネルギーの関数としての性質
Properties of carbon ion deposited tetrahedral amorphous carbon films as a function of ion energy.
著者 (7件):
XU S
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
TAY B K
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
TAN H S
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
ZHONG L
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
TU Y Q
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
SILVA S R P
(Cambridge Univ., Cambridge, GBR)
,
MILNE W I
(Cambridge Univ., Cambridge, GBR)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
79
号:
9
ページ:
7234-7240
発行年:
1996年05月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)