文献
J-GLOBAL ID:200902177270175197
整理番号:95A0854630
貴金属のMOCVD
MO CVD of Noble Metals.
著者 (1件):
IGUMENOV I K
(Inst. Inorganic Chemistry, Novosibirsk, SUN)
資料名:
Journal de Physique. 4. Proceedings
(Journal de Physique. 4. Proceedings)
巻:
5
号:
C5 Vol 1
ページ:
C5.489-C5.496
発行年:
1995年06月
JST資料番号:
A0743C
ISSN:
1155-4339
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
フランス (FRA)
言語:
英語 (EN)