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資料名：
巻： 81 号： 19 ページ： 3585-3587 発行年： 2002年11月04日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902177439578717
整理番号：02A0889907
ミリ波反射を用いる半導体ウエハの電気伝導率の非接触測定
Contactless measurement of electrical conductivity of semiconductor wafers using the reflection of millimeter waves.
JU Y
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
INOUE K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SAKA M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ABE H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 81 号： 19 ページ： 3585-3587 発行年： 2002年11月04日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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