文献
J-GLOBAL ID:200902177983877663
整理番号:01A0292787
マイクロマシン加工デバイスのためのシミュレーションアプローチの出現
Emerging Simulation Approaches for Micromachined Devices.
著者 (4件):
MUKHERJEE T
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
FEDDER G K
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
RAMASWAMY D
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
,
WHITE J
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems
(IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems)
巻:
19
号:
12
ページ:
1572-1589
発行年:
2000年12月
JST資料番号:
B0142C
ISSN:
0278-0070
CODEN:
ITCSDI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)