文献
J-GLOBAL ID:200902178013215125
整理番号:02A0642030
切削工具による単結晶シリコンのマイクロドリル加工
Micro-drilling of monocrystalline silicon using a cutting tool.
著者 (2件):
EGASHIRA K
(Kinki Univ., Wakayama, JPN)
,
MIZUTANI K
(Kinki Univ., Wakayama, JPN)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
26
号:
3
ページ:
263-268
発行年:
2002年07月
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)