Sorry, this section is only available in Japanese.
著者 (8件)：
資料名：
巻： 63 号： 8 ページ： 1117-1121 発行年： 1997年08月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902178293737725
整理番号：97A0747999
レーザ光散乱法によるSiウエハ付着微粒子計測装置の開発
Measurement of Ultra Fine Particles on the Si Wafer Surface Using a Laser Light Scattering Method.
井上晴行
(大阪大 大学院)
,
片岡俊彦
(大阪大 大学院)
,
遠藤勝義
(大阪大 大学院)
,
押鐘寧
(大阪大 大学院)
,
森勇蔵
(大阪大 大学院)
,
杉山和久
(大阪大 大学院)
,
安弘
(大阪電通大 工)
,
井山章吾
(大阪大 大学院)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 63 号： 8 ページ： 1117-1121 発行年： 1997年08月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。