文献
J-GLOBAL ID:200902178594455911
整理番号:98A0714694
原子間力顕微鏡法を用いたCR-39のバルクエッチ速度の測定
Measurement of bulk etch rate of CR-39 with atomic force microscopy.
著者 (6件):
YASUDA N
(National Inst. Radiological Sci., Chiba, JPN)
,
YAMAMOTO M
(National Inst. Radiological Sci., Chiba, JPN)
,
MIYAHARA N
(National Inst. Radiological Sci., Chiba, JPN)
,
ISHIGURE N
(National Inst. Radiological Sci., Chiba, JPN)
,
KANAI T
(National Inst. Radiological Sci., Chiba, JPN)
,
OGURA K
(Nihon Univ., Chiba, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
142
号:
1/2
ページ:
111-116
発行年:
1998年06月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)