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著者 (9件)：
資料名：
巻： 17 号： 5 ページ： 2321-2324 発行年： 1999年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902179746493136
整理番号：99A1038430
超大規模集積メタライゼーション用のスピンオンCu膜
Spin-on Cu films for ultralarge scale integrated metallization.
MURAKAMI H
(ULVAC JAPAN, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
HIRAKAWA M
(ULVAC JAPAN, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
OHTSUKA Y
(ULVAC JAPAN, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
YAMAKAWA H
(ULVAC JAPAN, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
IMAZEKI N
(Vacuum Metallurgical Co., Ltd., Chiba, JPN)
,
HAYASHI S
(Vacuum Metallurgical Co., Ltd., Chiba, JPN)
,
SUZUKI T
(Vacuum Metallurgical Co., Ltd., Chiba, JPN)
,
ODA M
(ULVAC JAPAN, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
HAYASHI C
(Vacuum Metallurgical Co., Ltd., Chiba, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 17 号： 5 ページ： 2321-2324 発行年： 1999年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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