文献
J-GLOBAL ID:200902179968379765
整理番号:02A0191233
空間光変調器を利用した波長走査ゲージブロック干渉計
Wavelength Scanning Gauge Block Interferometer Using a Spatial Light Modulator.
著者 (2件):
BITOU Y
(National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
,
SETA K
(National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
1
ページ:
384-388
発行年:
2002年01月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)