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著者 (8件)：
資料名：
巻： 9 号： 1 ページ： 58-66 発行年： 2000年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902180808478781
整理番号：00A0433926
高性能平面ピエゾ抵抗加速度計
A High-Performance Planar Piezoresistive Accelerometer.
PARTRIDGE A
(Stanford Univ., CA, USA)
,
KURTH REYNOLDS J
(Stanford Univ., CA, USA)
,
CHUI B W
(LightConnect Inc., CA, USA)
,
CHOW E M
(Stanford Univ., CA, USA)
,
FITZGERALD A M
(Stanford Univ., CA, USA)
,
ZHANG L
(Stanford Univ., CA, USA)
,
MALUF N I
(Lucas NovaSensor, CA, USA)
,
KENNY T W
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 9 号： 1 ページ： 58-66 発行年： 2000年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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