文献
J-GLOBAL ID:200902181149612277
整理番号:98A0099570
絶縁された電極を持つ容量性高周波放電の破壊測定
Breakdown measurement of a capacitive radio frequency discharge with insulated electrode.
著者 (2件):
SHOJI M
(Yamagata Univ., Yonezawa, JPN)
,
SATO M
(Yamagata Univ., Yonezawa, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
71
号:
23
ページ:
3362-3363
発行年:
1997年12月08日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)