文献
J-GLOBAL ID:200902181312621521
整理番号:99A0587169
硬質結晶性Al2O3皮膜のバイポーラパルス化DC PACVDによる堆積
Deposition of hard crystalline Al2O3 coatings by bipolar pulsed d.c. PACVD.
著者 (5件):
TAESCHNER C
(Inst. Festkoerper- und Werkstofforsch. Dresden, Dresden, DEU)
,
LJUNGBERG B
(AB Sandvik Coromant, Stockholm, SWE)
,
ALFREDSSON V
(Univ. Lund, Lund, SWE)
,
ENDLER I
(Inst. Festkoerper- und Werkstofforsch. Dresden, Dresden, DEU)
,
LEONHARDT A
(Inst. Festkoerper- und Werkstofforsch. Dresden, Dresden, DEU)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
108/109
号:
1/3
ページ:
257-264
発行年:
1998年10月10日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)