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文献
J-GLOBAL ID:200902181312621521   整理番号:99A0587169

硬質結晶性Al2O3皮膜のバイポーラパルス化DC PACVDによる堆積

Deposition of hard crystalline Al2O3 coatings by bipolar pulsed d.c. PACVD.
著者 (5件):
TAESCHNER C
(Inst. Festkoerper- und Werkstofforsch. Dresden, Dresden, DEU)
LJUNGBERG B
(AB Sandvik Coromant, Stockholm, SWE)
ALFREDSSON V
(Univ. Lund, Lund, SWE)
ENDLER I
(Inst. Festkoerper- und Werkstofforsch. Dresden, Dresden, DEU)
LEONHARDT A
(Inst. Festkoerper- und Werkstofforsch. Dresden, Dresden, DEU)

資料名:
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

巻: 108/109  号: 1/3  ページ: 257-264  発行年: 1998年10月10日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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