文献
J-GLOBAL ID:200902181451555436
整理番号:02A0127870
Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜のマイクロ波特性の測定におけるウェーハ上TRL較正の応用
Application of On-Wafer TRL Calibration on the Measurement of Microwave Properties of Ba0.5Sr0.5TiO3 Thin Films.
著者 (2件):
LUE H-T
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
TSENG T-Y
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
48
号:
6
ページ:
1640-1647
発行年:
2001年11月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)