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著者 (6件)：
資料名：
巻： 3678 号： Pt.1 ページ： 13-23 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902181955502554
整理番号：99A0795748
157nmレジスト設計のための見通し
Outlook for 157-nm resist design.
KUNZ R R
(Massachusetts Inst. Technol., MA)
,
BLOOMSTEIN T M
(Massachusetts Inst. Technol., MA)
,
HARDY D E
(Massachusetts Inst. Technol., MA)
,
GOODMAN R B
(Massachusetts Inst. Technol., MA)
,
DOWNS D K
(Massachusetts Inst. Technol., MA)
,
CURTIN J E
(Massachusetts Inst. Technol., MA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3678 号： Pt.1 ページ： 13-23 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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