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J-GLOBAL ID：200902182085808594 整理番号：99A0446893

ARC法で作製した炭素及び窒化炭素膜の構造とトライボロジー特性

Structure and tribological properties of carbon and carbon nitride films, obtained by the ARC method.

著者 (3件)：

PRECHT W

(Technical Univ., Koszalin, POL)

PANCIELEJKO M

(Technical Univ., Koszalin, POL)

CZYZNIEWSKI A

(Technical Univ., Koszalin, POL)

資料名：

Vacuum (Vacuum)

巻： 53 号： 1/2 ページ： 109-112 発行年： 1999年05月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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