文献
J-GLOBAL ID:200902182866126111
整理番号:96A0711869
窒素源としてアンモニアを用いたガスソース分子線エピタクシーで成長させた高質のGaNとAlN
High-quality GaN and AIN grown by gas-source molecular beam epitaxy using ammonia as the nitrogen source.
著者 (3件):
YANG Z
(Columbia Univ., New York)
,
LI L K
(Columbia Univ., New York)
,
WANG W I
(Columbia Univ., New York)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
14
号:
3
ページ:
2354-2356
発行年:
1996年05月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)