文献
J-GLOBAL ID:200902183279133632
整理番号:02A0698090
空気放電によって発生させた非熱的プラズマを使ったフルオロカーボンの処理
Treatment of Fluorocarbon Using Nonthermal Plasma Produced by Atmospheric Discharge.
著者 (6件):
HAYASHI N
(Saga Univ., Saga, JPN)
,
YAMAMOTO K
(Saga Univ., Saga, JPN)
,
IHARA S
(Saga Univ., Saga, JPN)
,
KAMATANI M
(Saga Univ., Saga, JPN)
,
SATOH S
(Saga Univ., Saga, JPN)
,
YAMABE C
(Saga Univ., Saga, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
8
ページ:
5399-5403
発行年:
2002年08月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)